全氟聚醚油(PFPE)是一种常温下为液体的合成聚合物。具有高的热稳定性、氧化稳定性、良好的化学惰性和绝缘性。分子量较大的全氟聚醚还具有低挥发性、较宽的温度使用范围及优异的粘温特性。全氟聚醚油化学上极其安定，惰性、无毒，粘度高，即使低温下也有优良的润滑性，能长时间保持转动部件旋转，能耐受酸、碱、氧化剂等强腐蚀性化学药品，可防止因蚀刻材料而引起油分解或劣化。可用于气体等离子蚀刻装置、反应性离子蚀刻装置使用的真空泵油，六氟化铀浓缩用扩散泵油，氧气压缩机、泵、阀用的润滑油；差压测量仪的差压传递液、密封液等方面。本试验采用AKF-BT2020C卡氏加热进样测定全氟聚醚基础油中的水分含量。